AMC監(jiān)測的主要目標(biāo)污染物包括酸類、堿類、可凝結(jié)物質(zhì)和摻雜物質(zhì)。這些污染物在半導(dǎo)體制造過程中可能對晶圓良率產(chǎn)生負(fù)面影響,因此需要對其進(jìn)行嚴(yán)格監(jiān)測和控制。1、酸類(MA):酸類物質(zhì),尤其是無機(jī)酸,對晶圓良率的負(fù)面影響是半導(dǎo)體從業(yè)者的一大痛點(diǎn)。...
CF4氣體分析儀的精度主要取決于其技術(shù)原理、設(shè)計(jì)以及校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)。以下是對CF4氣體分析儀精度的詳細(xì)分析:一、技術(shù)原理對精度的影響CF4氣體分析儀可能采用多種技術(shù)原理,包括但不限于電化學(xué)原理、紅外光聲光譜原理等。電化學(xué)原理:采用電化學(xué)傳感器的C...
便攜式氨逃逸分析儀通常采用氣相色譜技術(shù)、紅外吸收光譜技術(shù)或激光吸收光譜技術(shù)進(jìn)行氨氣體的檢測。其基本原理是通過檢測環(huán)境空氣中氨氣體的濃度來判斷是否存在氨氣體泄漏和污染的情況,并及時(shí)采取安全措施。影響氨逃逸分析儀準(zhǔn)確性的因素主要包括校準(zhǔn)和驗(yàn)證、...
提升便攜式氨逃逸分析儀的靈敏度是確保準(zhǔn)確監(jiān)測和分析環(huán)境中微量氨氣的關(guān)鍵。以下是一些方法和策略,旨在提高分析儀的靈敏度:一、優(yōu)化儀器硬件配置1.傳感器選擇與升級(jí):-選用高靈敏度、高選擇性的氨氣傳感器,如電化學(xué)傳感器或光學(xué)傳感器,這些傳感器能更...
CF4氣體分析儀是一種專門用于檢測和分析四氟化碳(CF4)氣體的設(shè)備。以下是關(guān)于CF4氣體分析儀的詳細(xì)介紹:一、主要功能CF4氣體分析儀能夠?qū)崟r(shí)、準(zhǔn)確地測量環(huán)境中CF4氣體的濃度。它廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、環(huán)境監(jiān)測、工業(yè)安全等領(lǐng)域,對于確保生...
激光氨氣分析儀作為一種高精度、高靈敏度的氣體分析儀器,廣泛應(yīng)用于環(huán)境監(jiān)測、工業(yè)生產(chǎn)、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。然而,其測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性可能受到多種因素的影響。以下是對激光氨氣分析儀影響因素的詳細(xì)描述:一、環(huán)境因素1.溫度和壓力:激光氨氣分析儀...